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20世紀90年代初，二氧化碳激光技術的發展集中在提高機器的功率、光束質量和可靠性、降低維護成本以及簡化激光器的設計以提高其可操作性。 隨著激光技術的迅速發展，發光單元的輸出功率可以達到20kW，而激光器的標準設計使發光單元的輸出功率達到60kW。